ACU10FD | 40臺MFC電腦遠程測控實拍

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◆熱式原理，響應快，精度高

ACU10FD 質量流量控制器由質量流量傳感器，層流分層件，流量控制器調節閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成。

ACU10FD 采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值去驅動控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。

二、產品應用

三、產品參數

四、產品尺寸圖

（ACU10FD-MM質量流量計）

五、可選配套測控軟件 （另外收取費用）

        質量流量測控系統V5.0

六、其他型號推薦

ACU10FA-LM模擬型質量流量計（低量程）（5SCCM~30SLM）

ACU10FA-LC模擬型質量流量控制器（低量程）（5SCCM~30SLM）
ACU10FA-MM模擬型質量流量計（中量程）（30SLM~150SLM）

ACU10FA-MC模擬型質量流量控制器（中量程）（30SLM~150SLM）
ACU10FD-LM數字型質量流量計（低量程）（100SCCM~30SLM）

ACU10FD-LC數字型質量流量控制器（低量程）（100SCCM~30SLM）

ACU10FD-MM數字型質量流量計（中量程）（30SLM~300SLM）

ACU10FD-MC數字型質量流量控制器（30SLM~300SLM）

ACU10FD-BM數字型質量流量計（500SLM~3000SLM）

ACU10FD-BC數字型質量流量控制器（500SLM~3000SLM）

ACU10FD-M質量流量計/質量流量控制器  產品選型表                （添加  11048 69159 、29145 69088 或    186 1279 0707  、186 1279 0733 幫您選型）