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多組分配氣系統主要由ACCU熱式質量流量控制器,可觸摸液晶顯示屏等組成。通過電腦遠程監測,主要用于多路氣體流量測量控制,并可以通過電腦預設的流量曲線函數進行控制。
產品優勢:
◆高品質材質
◆體積緊湊、集成度高
◆精準快速調節流量
◆多路氣體,獨立調節
◆流量數據加密記錄,安全可靠
◆多級權限用戶分配
1) 十路流量監測與控制,可快速 啟動/關閉 全部流量
2)MFC通訊狀態檢測,測量數據(可加密)記錄、導出,記錄時間間隔可調
3)多用戶分級權限管理,自定義用戶密碼