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一、產品概述

ACU20PCD雙閥壓力控制器集成兩個電磁閥，進氣閥將過程氣體引入腔體，保持密閉空間的壓力，壓力過高時，泄壓閥自行打開進行泄壓，快速精準地控制壓力的穩定，同時避免氣體浪費。

ACU20PCD標配一個壓力傳感器和數字電路板，提供高精度、快速穩定、可靠的壓力控制，該PC數字板具有控制壓力所需的所有功能。除了配備標準的RS485輸出信號，ACU20PCD還提供模擬量輸入/出信號，可通過調節設定值就能精準的控制整個工藝過程。同時，可觸控顯示屏使操作更加便捷。ACU20PCD雙閥壓力控制器可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩控制的特性。我們有不同系列的控制閥對應特定的應用領域。常規應用使用標準的直接操控閥，高流速應用使用先導閥，穩壓和泄壓應用雙閥。

二、產品應用

應用領域：半導體生產、科研實驗、生物醫藥、能源化工、泄漏測試、燃料電池、真空鍍膜及過程控制等。

三、產品參數

技術參數	精度(包括線性和滯后性)	±0.5%F.S
	壓力控制器	1:50
	重復性	≤0.1%
	傳感器響應時間	0.2s
	控制穩定性	≤±0.05%F.S(測定條件：1 L/min N2)
	運行溫度	-10~+70℃
	溫度敏感性	0.1%FS/℃
	漏率	1×10-9 SCCS He
	方位影響度（90°變化）	＜0.03 KPa（絕壓/表壓傳感器）
		＜0.6 KPa（差壓傳感器）
	預熱時間	忽略不計

機械部件	材質	不銹鋼
	工藝連接	G3/8"
	密封材質	氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/其他
	防護等級（外殼）	IP40

電氣特性	電源	15~24Vdc
	通訊協議	profinet協議
	電氣連接	DB9

四、可選配套測控軟件 （另外收取費用）

質量流量測控系統V5.0

ACU20PCD-L壓力控制器選型表 （添加 11048 69159 、29145 69088 或 186 1279 0707 、186 1279 0733 幫您選型）

系列號	ACU20PCD-L
產品類型	【C】壓力控制器
壓力類型	【A】絕壓【G】表壓
耐壓范圍	【M】3MPa
現場顯示狀況	【N】不帶液晶顯示【X】帶液晶顯示
壓力范圍	【100K】100KPa 【1M】1MPa 【5M】5MPa 【10M】10MPa 【15M】15MPa 【20M】20MPa
被測介質	詳見密度參照表
流量輸入信號	【A1】0~5VDC 【A2】4~20mA 【A3】1~5VDC
輸出信號	【B1】0~5VDC 【B2】4~20mA 【B3】1~5VDC
供電電壓	【5】±15VDC 【4】24VDC
通訊方式	【8】RS485 【2】RS232 【0】其他
密封材質	【V】氟橡膠【T】丁腈橡膠【N】氯丁橡膠【Y】其他
使用接頭	【A】φ3 【B】φ6 【F】1/8" 【G】1/4" 【Y】其他與廠家聯系
選型舉例	ACU20P M A M N 100K 007 A1 B1 5 8 V E

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