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一、產品概述

無“比熱容”誤差，高精度數據實時反饋
緊湊型設計，大屏幕體驗更直觀
支持多參數測量，便于數據分析
采用DSP主控，進一步提升精度可靠性
近百種氣體自由切換，無需返廠校準
支持USB TypeC和藍牙，設備連接靈活多樣

ACU30FC系列流量計采用差壓式原理，通過流體經過節流元件時，產生的壓力差來計算流量，產品內置PID調節功能，與電磁比例調節閥配合使用，實現對流量的精確控制。ACU30FC可實現對氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度等多參數測量，并通過RS485/232等通訊方式將一系列參數通過觸摸屏或者其他外接設備和控制系統顯示，以便對數據監控和分析。

二、產品應用

真空	鍍膜	太陽能	各種儀器分析
石油石化	制氣配氣	環保	半導體

三、產品參數

規格參數	ACCU30FC高精度差壓式質量流量控制器/流量計
量程范圍	2SCCM~30SLM
測控范圍	閥控范圍 50:1 流量計 100:1
準確度	±0.5%F.S（滿量程）
線性	±0.5%F.S
重復精度	±0.2%F.S
穩定性	＜±0.1%F.S
響應時間	50ms
溫度系數	±0.015%F.S/℃
工作溫度	-10℃~60℃
工作壓差	0.05~0.5MPa
最大耐壓	1MPa
底座材質	不銹鋼
接頭	VCR、卡套、快插、寶塔、法蘭安裝
密封材質	氟橡膠、丁晴橡膠、全氟醚、三元乙丙
防護等級	IP40
安裝位置	水平安裝
顯示屏	單色LED顯示屏，同時顯示流量、設定
電氣連接	DB9孔，RJ11,5.5x2.1電源快插
顯示狀態	液晶顯示
數字量	Modbus協議（RS232/485）、ProfiBus協議、DeviceNet協議
模擬量	0~5V、4~20mA、1~5V
供電	±15VDC、24VDC

四、產品尺寸圖

五、可選配套測控軟件（另外收取費用）

質量流量測控系統V5.0

ACU30FC差壓式質量流量計/控制器產品選型表（添加11048 69159、29145 69088或186 1279 0707、18612790733幫您選型）

系列號	ACU30FC
產品類型	【C】質量流量控制器【M】質量流量計
耐壓范圍	【M】3MPa 【Z】10MPa（僅限流量計）
流量范圍	【002C】2SCCM 【100C】100SCCM 【001L】1SLM 【05L】5SLMS 【10L】10SLM 【20L】20SLM 【30L】30SLM
輸入信號	【A1】0~5VDC 【A2】4~20mA 【A3】1~5VDC
輸出信號	【B1】0~5VDC 【B2】4~20mA 【B3】1~5VDC
供電電壓	【5】±15VDC 【4】24VDC
通訊方式	【8】RS485 【2】RS232
密封材質	【V】氟橡膠【T】丁腈橡膠【N】氯丁橡膠【Y】其他
使用接頭	【C】φ8 【D】φ10 【E】φ12 【Y】其他與廠家聯系
選型舉例	ACU30FC C M 100C A1 B1 5 8 V C

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