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一、產品概述

◆無“比熱容”誤差，高精度數據實時反饋

◆準確度0.5%，量程可在100：1范圍內設定，無需標定

◆瞬時和累計流量、壓力、溫度可同時顯示

◆無需預熱，測量時無響應滯后

◆內置30種氣體轉換系數，無比熱容附加誤差，不影響精度

ACU30FC差壓式質量流量控制器采用無熱漂移，無響應滯后的差壓質量測量原理，可以同時顯示和輸出：瞬時流量、累計流量、壓力、溫度等。當需要控制功能時，還可以加裝電磁比例調節閥和內置PID 調節功能。

ACU30FC可實現對氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度等多參數測量，并通過RS485/232等通訊方式將一系列參數通過觸摸屏或者其他外接設備和控制系統顯示，以便對數據監控和分析。

二、產品應用

ACU30FC系列差壓式質量流量控制器控制器廣泛應用于各行業領域，如：真空、鍍膜、太陽能、半導體等。多變量測量以及100:1量程可調比，使得僅用一臺ACU30FC差壓式質量流量控制器便可取代多臺設備的功效。精度0.5%、重復性0.2%及不到50毫秒的控制響應時間，確保過程氣體正常工作。

三、產品參數

運行狀況	工作溫度	-10~+60℃
	最大工作壓力	1MPa
	對安裝方式/方向的要求	水平安裝
	閥門等級	閥門長閉
	防護等級	IP40
	材質	不銹鋼

信號	單色LED顯示屏	同時顯示流量、設定
	數字輸出信號	Modbus協議（RS232/485）、ProfiBus協議、DeviceNet協議
	模擬輸入信號	0-5Vdc / 4-20mA
	模擬輸出信號	0-5Vdc / 4-20mA
	電信號接口	DB9
	供電電壓	24Vdc、±15Vdc
	供電電流	0.750Amp

規格	量程范圍	2SCCM~30SLM
	精度（調零后標準條件下）	±0.5%F.S
	重復性	±0.2%F.S
	零點漂移&滿量程漂移	0.02% F.S/ oC/Atm
	工作范圍/量程可調比	2% ~ 100% F.S / 50:1
	最大可測流量	100% F.S (可控制)
	典型響應時間	50 毫秒
	啟動預熱時間	無需預熱

四、產品尺寸圖

（▲ 差壓式質量流量控制器）

五、可選配套測控軟件 （另外收取費用）

ACU30FC-L差壓式質量流量控制器選型表 （添加 11048 69159 、29145 69088 或 186 1279 0707 、186 1279 0733 幫您選型）

系列號	ACU30FC-L
產品類型	【C】質量流量控制器【M】質量流量計
耐壓范圍	【M】1MPa
現場顯示狀況	【N】不帶液晶顯示【X】帶液晶顯示
流量范圍	【100C】100SCCM 【200C】200SCCM 【300C】300SCCM 【500C】500SCCM 【001L】1SLM 【002L】2SLM 【003L】3SLM 【005L】5SLM 【010L】10SLM 【020L】20SLM 【030L】30SLM
被測介質	詳見密度參照表
流量輸入信號	【A1】0~5VDC 【A2】4~20mA 【A3】1~5VDC
輸出信號	【B1】0~5VDC 【B2】4~20mA 【B3】1~5VDC
供電電壓	【5】±15VDC 【4】24VDC
通訊方式	【8】RS485 【2】RS232
密封材質	【V】氟橡膠【T】丁腈橡膠【N】氯丁橡膠【Y】其他
使用接頭	【A】φ3 【B】φ6 【F】1/8" 【G】1/4" 【Y】其他與廠家聯系
選型舉例	ACU30FC-L C M 100C 007 A1 B1 5 8 V A

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