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項目背景：半導體迎來第二發展曲線
在生成式人工智能推動下，今年半導體產業大幅反彈。根據多方預測，半導體行業將持續增長，2030年有望突破1萬億美元里程碑。 在我國，面對半導體被‘卡脖子’的嚴峻現實，其發展速度居全球之首，且需求量較大。國家對半導體發展也高度重視，并持續提出支持政策。
企業概況：致力于半導體技術國產化
精量科技服務的某半導體企業致力于國產化替代，專業布局碳化硅工藝，經過多年工藝積累，目前形成以刻蝕工藝設備、薄膜沉積工藝設備等系列產品，主要用于半導體前道工藝階段，如碳化硅、氮化鎵等化合物半導體加工。
工況需求：超供貨周期，保證生產質量
該半導體企業為下游客戶提供薄膜沉積、刻蝕、除膠等設備，用于在基底材料上制作和沉積薄膜圖層，以形成芯片的功能層。在化學氣相沉積（CVD）過程中，需用氣液混合蒸發器將液體源材料蒸發并混合，從而在沉積過程中形成均勻的薄膜。
該半導體企業聯系精量科技，了解精量科技蒸發器產品，以替代某國外品牌，并提出以下需求：
1.供貨周期短且穩定;
2.確保液體完全蒸發；
3.響應速度快，混合蒸發氣體輸出均勻;
4.液體流量精度達到規定標準.
解決方案：供貨周期短，保證生產質量
精量科技了解需求后，根據混合的介質及工況，為客戶設計氣液混合蒸發系統。
系統配置了可控蒸發混合器x1、液體質量流量控制器x1、氣體質量流量控制器x1、溫度控制儀x1。
圖：用于氣液混合蒸發系統的ACU20CEM可控蒸發混合器產品
系統配置如下：
可控蒸發混合器：采用 ACU20CEM型號，氣體最大量程10 ln/min，液體（水）最小量程120g/h。
液體質量流量控制器：ACU20FE 科里奧利質量流量控制器，準確度±0.25% F.S，重復精度0.05% F.S。
氣體質量流量控制器：ACU20FD高精度控制器，準確度±0.5% F.S，重復精度 ±0.2% F.S。
溫度控制儀：可控制最高達200℃~300℃高溫，充分滿足指定介質蒸發條件。
項目收益：助力高效、高質量鍍膜制備
該半導體企業使用精量科技的氣液混合蒸發系統，在整體精度、響應時間、蒸發效率、流量等性能和指標都滿足該企業既有工況和要求。在具體使用過程中，取得了以下收益：
1.保障生產工作正常進行
精量科技近10年的積累，從研發、生產、調試到發貨，建立了高效的供貨系統。其供貨周期短，不影響客戶使用和正常作業。憑借高效的生產和調試程序，能滿足客戶對訂貨時間及數量的要求。
2.確保高質量薄膜工藝
系統均采用精度高的配置設備，充分滿足沉積工藝過程中出氣均勻、蒸發高效、響應時間快的標準要求。
3.助力高效的薄膜生產工作
精量科技的氣液混合蒸發系統整體性能穩定可靠，量程范圍寬，滿足不同作業環境下的需求，助力企業高效穩定生產集成電路薄膜。
在部分半導體以及新材料等工藝中進行精確混合蒸發，以確保沉積出的薄膜質量穩定。精量科技的蒸發系統在氣液混合環節發揮重要作用，已獲國內多家涉及薄膜沉積工藝的企業認可，并與之達成長期戰略合作關系。
精量科技作為專業的過程儀表和自動化控制設備供應商，堅持“創新科技，服務全球”的經營理念，旨在生產高品質高技術高精度的產品，專業于流量測量，應用廣泛分布于玻璃、冶金、環保、配氣置氣儀器分析、石油石化等領域。
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